关于TCS合成温度的控制

众所周知，TCS合成炉的温度主要跟HCL的纯度和进料量，硅粉的粒径和湿度，夹套水液位，TCS炉内压力有关

但有时候温度有时候还是不听话，请各位畅所欲言讨论下更好控制温度的方法。