多晶硅脱盐水及高纯水系统

一、脱盐水站 2.1 原水箱设置100M3，SUS304原水水槽，可以泵送预处理单元。 2.2多介质过滤器源水由砂滤塔将水中含有的泥沙、铁锈、胶体物质、悬浮物等颗粒在20μm以上对UF膜有害的物质去除，用以确保后续设备无堵塞之虞；过滤器罐体为碳钢衬胶。 2.3 袋式过滤器袋式过滤器主要用于保护超滤装置。 2.4 超滤装置预处理装置主要为超滤装置，超滤膜分离出水水质好。 2.5 超滤水箱设置50M3，SUS304超滤水槽，可以泵送RO单元。 2.6 活性碳过滤器设置活性碳过滤器,过滤器罐体为碳钢衬胶，内装精选的椰壳活性炭, 目的是为了去除水中的各种胶体、色素、异味、大量生化有机物、余氯。 2.7 热交换器采用换热器，以保证水温稳定运行。 2.8 保安过滤器设置5um精密过滤器去除5um以上颗粒物，保护RO系统。 2.9 一级RO系统预处理好之水，由高压泵将水压增加至10kg/cm2以上进入RO膜管，RO膜就好像是一个屏障，将水中剩余的盐类和有机质，无机物去除。当水进入膜中，会分为二部份，一部分为纯水，另一部分为浓缩水。浓水部分回用。 2.10 一级RO水槽 RO水贮存在一级RO槽内，送至二级RO单元。 2.11 二级RO系统一级RO产水，由高压泵将水压增加至10kg/cm2以上进入RO膜管，RO膜就好像是一个屏障，将一级RO 水中剩余的盐类和有机质，无机物去除。达到工艺水要求。浓水回用。 2.12 脱盐水精处理系统通过精处理系统，消毒过滤送至工艺用水单元。 2.13 冷凝液处理系统通过冷凝液系统，回收冷凝液送回一级RO单元 二、 高纯水站 2.14 MDG 在此处设置MDG是为了有效地去除水中的溶解氧，使其达到小于5ppb的出水要求，该系统附设氮气添加装置及真空泵和相应的真空泵循环冷却系统。 2.15 TOC-UV-1 利用TOC-UV来降解水中的有机碳，同时，具有杀菌作用。 2.16 EDI 进一步去除水中的离子，使水达到15 .cm以上。M 2.17 超纯水槽 .cm之纯水贮存在DI槽内，经后段精制单元，再做进一步处理。15M 2.18 热交换器采用换热器，以保证水温稳定运行。 2.19 TOC-UV-2 利用TOC-UV来降解水中的有机碳，同时，具有杀菌作用。 2.20 MB-P-1 .cm以上，此种树脂每半年更换一次。利用抛弃式树脂将水质进一步精制18M 2.21 MB-P-2 .cm以上，此种树脂每年更换一次。利用抛弃式树脂将水质再进一步精制18M 2.22 UF 过滤器将MB-P水中可能含有之破碎树脂过滤掉。