三氯氢硅合成炉内发生变黑现象

freegoto · 发表于 2009-10-29 09:47

三氯氢硅合成炉内发生变黑现象
我公司生产三氯氢硅的合成炉为常压合成炉，炉内老是出现变黑现象，似乎有碳生成似的，大家都交流一下，看你们有没有发生过这样的情况。另外补充一点，我们用的是生产氟里昂的副产氯化氢。

taizhuo · 发表于 2009-10-29 13:23

氟里昂的副产氯化氢里总是有一部分氟化氢,氟化氢高温下对你的合成炉材料可能腐蚀性比较大.