气体缩写代码表示什么气体？

最近在做一个多晶硅尾气净化项目，老外给的气体中好几个都是缩写，不知道是什么意思？贴上来盼大家的帮助，谢谢
PN2代表？
PH2代表？
TCS，这个知道指三氯硅烷（HSiCl3）的缩写
GN2代表？

PN2------Purge N2（高纯氮气）
GN2------General N2（一般氮气，普通氮气）
PH2------Purge N2（高纯氢气）
CDA------Compressed Dry Air（压缩空气）
........................
半导体行业的气体分很多种，分大宗气体(Bulk Gas)和特种气体(Speeial Gas)。大宗气体指集中供应且用量较大的气体，过程用气如PO2、PAr、PH2、PHe和公辅用气像CDA、IA、GN2等等，都是大宗气体。P的意思就是纯净，纯度高的气体，一般是工艺过程，或者叫制程（台湾叫法？）用气。

还有些古怪的东西直接问老外吧。。

多谢这位兄台。。。。。