对ＣＤＩ尾气回收工艺的解读

本人做改良西门子法制多晶硅工艺的尾气干法回收工艺设计已经２年了。上个月才看到了传说中的ＣＤＩ工艺，看了２天，感觉还是很有收获。以前了解的干法回收都采用四氯化硅来作为淋洗液。的确，四氯化硅与氯化氢的物性差异较大，解析操作更容易进行。我最初的方案也是采用四氯化硅，但是随之发现很多问题，必须有一套四氯化硅的提纯装置，耗能很高，设备也复杂。每次进吸收塔的气相物料中含三氯氢硅和少量四氯化硅，运行时间延长会产生三氯氢硅的富集，而由氢气和氯化氢带走的三氯氢硅和四氯化硅则可能减少淋洗液。淋洗液处于不断变化中，虽然是一增一减，但是其实很难控制。而回收的液相产物，主要是三氯氢硅和少量四氯化硅，因冷冻回收使少量氯化氢溶解在回收液中，在提纯过程中必须将其作为轻组分扔掉，有点可惜。ＣＤＩ的做法是采用冷冻回收液作为淋洗液，融入的氯化氢会进入解析塔得到回收，提高了氯化氢的回收率。不用单独进行四氯化硅的提纯，节省了设备投资，而且工艺简单可行。淋洗液的量可以控制在一个稳定的组成和数量，分出一部分含量相同的去提纯工段就行了。

总结的很好，个人学习了。谢谢楼主

"做２年了。才看到了传说中的ＣＤＩ了２天"-这种情况少见，不知道之前你没有看到的原因？