三氯氢硅中除硼问题

hanshan · 发表于 2009-6-8 08:24

目前多晶硅厂家对三氯氢硅厂家中的硼含量控制很严，大部分厂家都要求在50-100PPb级别，但是三氯氢硅厂家基本都是一个精馏塔，新上的也只是增加了一个除轻杂质的精馏塔，可是目前来看效果也不是很理想。含硼至少在400ppm，请问各位有没有除硼的好办法?再者谁知道多晶硅厂家对三氯氢硅的质量要求有多少？

hanshan · 发表于 2009-6-8 08:25

请各位大侠认真指点。

hanshan · 发表于 2009-6-9 08:25

怎么没人参加呀，呵呵，求助中

wangshuaitju · 发表于 2009-6-11 14:43

一个精馏塔，加一个除轻杂质的精馏塔就很不错了。再增加从工艺角度说可行性不大。

acer_legend · 发表于 2009-7-29 09:56

现在有些公司采用湿氮法，有一些效果，但后续问题也挺多

jakeson19 · 发表于 2009-10-5 09:03

1 湿淡除B P主要是利用氮气中的水分跟B P氯化物生成高沸点物质，也叫反应精馏，
2 由于三氯氢硅跟水也反应生成一种中间物质，
3 三氯氢硅跟水反应生成二氧化硅
4 1和2生成的中间物质脱水反应生成一种新物质
5 由于3中生成的二氧化硅是极细的未消粉末，又很强的吸附性，于是吸附第四步中生成的物质实质变成络合物，这种络合物是高沸点物质从而从塔釜排除，达到除B P的效果