还原炉的视镜模糊

9769782 · 发表于 2009-6-6 11:55

为什么还原炉的视镜过段时间就开始变的模糊起来，看不清里面硅棒的生长状况。。
有什么好的办法防止这一现象么？

Mark118 · 发表于 2009-6-6 12:20

安装里面清洗视镜的刷子

hugang05 · 发表于 2009-7-14 23:57

用氢气吹扫，注意汽化器

半杯龙舌兰 · 发表于 2010-8-5 15:19

拆炉后用氟化氢铵清洗下用氮气吹干再安上就可以了

zjbest · 发表于 2010-12-28 14:50

谢谢前辈。

ggb · 发表于 2011-1-6 12:01

与工艺操作有关，温度低就会出现无定型硅，要改善工艺操作（提点温度等），清洗炉罩时拆下清洗。