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化工技术网- 赠人玫瑰 手有余香

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TCS的转化率问题

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daniao59 发表于 2009-5-19 10:53 | 显示全部楼层 |阅读模式
在还原工序的沉积反应中，三氯氢硅发生反应的量占总量的多少，其中主反应生成硅所消耗的三氯氢硅占总量的多少，占反应量的多少？那位大侠知道啊？

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9769782 发表于 2009-6-3 19:57 | 显示全部楼层
10-17%左右吧，国内的多晶硅

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hugang05 发表于 2009-7-14 23:58 | 显示全部楼层
用总量去比较
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cppdcc 发表于 2009-7-24 11:59 | 显示全部楼层
xiexie
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