三氯氢硅生产的尾气回收技术在国内是不是成熟

三氯氢硅的尾气回收技术在国内不知道是否成熟？在尾气中混合了氯硅烷和H2、HCL，要分离好像有点难度哦。

借鉴西门子的技术，国内有专门的技术公司可以做！

1、我们可以做。
2、现在已经做了大约10套左右。
3、工业化稳定性较高。物理法首先低温分离及低温洗涤，分别得到符合工艺纯度的氯硅烷和氯化氢，然后尾气进入变温变压吸附系统分离，得到符合还原要求的氢气返回还原炉。解析得到的氯硅烷和氯化氢返回低温洗涤系统。事故状态下返回分离系统。低温物理部分根据需要，通过精馏提纯得到三氯氢硅和四氯化硅，三氯氢硅返回还原系统，四氯化硅根据需要看有否氢化，或者下游继续使用或者单独处理。
4、全系统完全密闭全循环。
5、相关的质量指标及公用工程消耗，自动化操作，紧急状况应急处理，可以和德国及美国公司对中国转让的技术媲美。关键的变温变压提纯部分超过国外相关技术。
6、希望能有机会和各位好好交流，也希望能为国产化的新技术推广尽一份力。相互研讨！！
e-mail:wxer@tom.com
qq:154443380

西门子改良工艺的多晶硅在国内算得上先进工艺，多金硅的生长周期短，纯度也比较高。

但听人讲已经投产的生产不大理想，是否如此

这方面业主都不是很清楚

确实还不是很成熟，我们公司淋洗塔那就老出问题

这个应该不是问题吧，进入精馏塔之后不是自然都分离出来了吗？

改良西门子法 还是不错的