多晶硅还原炉的硅棒倒伏

liuyun7610 · 发表于 2009-1-19 19:27

1，还原炉设计上的问题
2，硅芯的长度和直径，以及硅芯的电阻，当然越长的硅芯肯定越容易倒
3，高压启动时候的电流，以及时间是否过长
4，启炉时，还原炉和硅芯互相作用产生磁场使硅芯摆动
5，启炉时是用氢气启，还是氮气启动，用氮气很容易启成功，用氢气很容易倒硅芯
6，生长阶段硅棒生长不好，关键部位如根部和横梁没有长好的话，也很容易倒
7，长时间的空烧，以及突然停电造成硅棒裂开等等
还有很多能影响的，希望同业朋友各自发表下自己的见解。

淼枫120 · 发表于 2009-3-14 10:55

氢气启炉为什么容易断棒呢？

luoleihongsha · 发表于 2009-4-11 19:20

氮气启动的硅棒还能要么？
会生成氮化硅的。。

楚楚 · 发表于 2009-6-28 09:04

生长过程中没有控制好温度，导致出现“菜花状”硅棒，衡量温度太高，硅棒长的不致密，太疏松，停炉时，由于热涨冷缩作用，很容易倒炉。
个人认为应该保持横梁的温度不高于1100度，否则太高就有可能使硅棒“烧流”。

slwj4371 · 发表于 2009-8-3 22:49

经过这几年,多晶硅业还是培养了不少人才.

多晶硅还原炉的硅棒倒伏

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