多晶硅工艺的四氯化硅氢化

lcqin · 发表于 2008-12-25 22:11

有没有在做四氯化硅氢化处理的一起讨论讨论啊
应用前景、技术概况、国内外公开的专利技术等等

zero929 · 发表于 2008-12-25 23:57

hehe 我做过distillation

海云飞 · 发表于 2008-12-26 08:14

氯氢化和热氢化啊，目前国内都有成功应用的。
等离子氢于副产物较多（不仅生成三氯氢硅，二氯氢硅等其他产物也多），且易产生硅粉，研究的不多。但也是很早就研究了，目前尚无成功应用的。

hugang05 · 发表于 2009-3-4 16:26

不成功，都在忽悠，到底是哪个厂家作出了产品，都没有消息

半杯龙舌兰 · 发表于 2010-8-3 10:08

我也在找有冷氢化成功的吗联系我下