多晶硅还原炉的冷却问题

liusongxi888 · 发表于 2008-12-8 11:07

各位大侠：
         多晶硅还原炉用水冷却好还是用导热油冷却好？
         目前国内用导热油冷却的还原炉，没有生产出电子级多晶硅，请各位提出自己的看法，有设计过多晶硅的大哥大姐的意见更好，
         小弟正搞多晶硅设计，希望能交流下经验。

andrewxu · 发表于 2008-12-8 16:45

你好,请问您是哪家公司,需要配套高纯石墨件吗? 可以加我: MSN: andrewxu@yeah.net

hugang05 · 发表于 2008-12-10 00:21

热传导油比水性能好，但是水的冷却已经成熟，考虑到成本的原因还是用水冷却吧

saintcaptain · 发表于 2008-12-10 08:17

的确，水冷却技术要成熟一些

liusongxi888 · 发表于 2008-12-10 09:22

有没有谁知道成达设计的是有什么介质做为冷却剂的，
是水还是油？

buddy1985buddy · 发表于 2008-12-10 12:52

好像是水了冷

sunby · 发表于 2008-12-25 17:52

成达有油冷设计的，比如亚洲硅业，但是更多的是水冷

lcqin · 发表于 2008-12-25 21:59

好像现在的都是水冷的
导热油较少

lianwjh · 发表于 2008-12-28 19:01

成本低，还好用！~容易控制~~

hugang05 · 发表于 2009-3-5 14:19

成熟得技术，为何不用水冷却呢?

ulsgh · 发表于 2009-3-12 17:20

最好用油，个人看法，峨×好像就是用导热油。用水的话炉壁温提不上去，耗能不说，生长后期硅棒的温度要想提高也难。但很多都用水，国外的尤其如此，油都淘汰了。有人说油会渗到炉子里面去污染硅质量，哈哈，不知道炉子是不是泡沫做的。

luoleihongsha · 发表于 2009-4-11 19:36

建议用油~~

半杯龙舌兰 · 发表于 2010-8-5 15:52

我感觉用油比较好

netsun · 发表于 2010-8-14 12:57

学习一下下，我们做的炉子好像是水冷却的。

zzf · 发表于 2010-10-23 22:01

我们的炉子也是水冷，水对高压击穿有影响，

成达的设计多以水冷为主