三氯氢硅精馏中的湿氮除硼

jinzhengmao2008 · 发表于 2008-12-5 11:15

三氯氢硅含有硼、磷等杂质必须出去有的公司采用湿氮除硼的工艺能否介绍一下基本原理

jakeson19 · 发表于 2009-10-5 09:18

1 湿淡除B P主要是利用氮气中的水分跟B P氯化物生成高沸点物质，也叫反应精馏，
2 由于三氯氢硅跟水也反应生成一种中间物质，
3 三氯氢硅跟水反应生成二氧化硅
4 1和2生成的中间物质脱水反应生成一种新物质
5 由于3中生成的二氧化硅是极细的未消粉末，又很强的吸附性，于是吸附第四步中生成的物质实质变成络合物，这种络合物是高沸点物质从而从塔釜排除，达到除B P的效果

yubufan · 发表于 2010-6-1 17:22

这样的话，三氯氢硅的损耗严重吗？

xiaobenbena · 发表于 2010-6-11 16:41

不严重，因为水量非常少

三氯氢硅精馏中的湿氮除硼

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