请教多晶硅配料问题

chenjung8011 · 发表于 2008-11-7 10:30

多晶硅生产最前道工序是硅粉配料在流化床里产生三氯氢硅，我看到大多数配料都采用批次配料方式将硅粉、添加剂称好后放入流化床中。但我想不通流化床是一个连续反应的设备那么前段的硅粉放料为什么不用连续放料的模式进行呢？另外我想请教大家硅粉放料的精度一般要求是什么样的？
我看了一些资料里面介绍氯化氢是生产三氯氢硅的另一种重要原料，那么氯化氢存储的介质是大型的储料罐呢？还是小型的钢瓶灌装？
我是一个做系统配料设备的，对工艺应用的细节特别关心。请大家指教，谢谢！

lysgdhr · 发表于 2008-11-12 14:53

我也在搜集相关资料，找到了就发给你

boboviky · 发表于 2008-11-13 15:17

我不懂！

rgj888 · 发表于 2010-11-23 08:26

我不懂！

请教多晶硅配料问题

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