三氯氢硅合成炉尾气的治理
王小辉,何佳华
(唐山冀东氯碱有限公司,河北唐山063021)
摘要:介绍了治理三氯氢硅合成炉尾气的方法,并进行了比较。
关键词:三氯氢硅;尾气;治理;方法
中图分类号:TQ114.26+2 文献标识码:B 文章编号:1009—1785(2007)06—0039—02
Harness of tail gas of trichlorosilane synthesis furnace
WANG Xioo—hui,HE~a-hua
(Tangshan Jidong Chlor-alkali Co.,Ltd.,Tangshan 06302 1,China)
Abstract:The method of tail gas harness of trichlorosilane synthesis furnace were introduced and compared.
Key words:trichlorosilane;tail gas;harness;method