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氯化氢如何干燥

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gysml 发表于 2008-10-17 13:52 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教,氯化氢其他如何干燥到能用于多晶硅行业,水含量≤50ppm
zhangchi2002 发表于 2008-10-17 14:59 | 显示全部楼层
当然是冷冻干燥,用扑雾器分离水

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海云飞 发表于 2008-10-19 14:07 | 显示全部楼层
有中文专利,好像是MEMC的
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wojiaweiwei 发表于 2009-4-15 15:06 | 显示全部楼层
用硫酸啊,有成熟工艺的,可以联系我啊
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ygyang_007 发表于 2009-4-18 10:04 | 显示全部楼层
现在可以用吸附法呀.方便省事.
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雪样女子 发表于 2009-5-31 12:03 | 显示全部楼层
用吸附法可以达到小于20PPM的效果。
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luosidao007 发表于 2010-5-19 08:53 | 显示全部楼层
目前成熟的工艺有冷冻干燥,浓硫酸干燥,分子筛吸附干燥。如果你们想试验的话还可以试试用四氯化硅干燥
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hwf850305 发表于 2010-6-30 10:10 | 显示全部楼层
我们采用的四氯化硅干燥和浓硫酸干燥,可是据说干燥效果只能达到100PPm左右,不知道是不是有什么问题
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w.ww 发表于 2010-11-14 14:53 | 显示全部楼层
变压吸附与浓硫酸相结合
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