吐血推荐：西门子法生产多晶硅的热力学

sararara0002 · 发表于 2008-10-7 15:52

西门子法生产多晶硅的热力学评论推荐

苗军舰[1] 陈少纯[2] 丘克强[1]
[1]中南大学化学化工学院,长沙410083 [2]广州有色金属研究院,广州510651
摘　　要:应用有关热力学数据研究了与西门子法相关的“Si-Cl-H”三元系的复杂化学反应,分别绘制了在体系中存在的15个化学反应的△rG m-T图和Kp -T图;还给出在不同压强和不同SiHCl3/H2初始比例时的平衡气相成分、η-产率随温度的变化图以及在不同的压强下α因数随SiHCl3初始物质的量的分数的变化图。热力学研究结果表明,高温、低压和小的SiHCl3/H2初始物质的量的比对SiHCl3还原有利;α因数随着SiHCl3初始物质的量的比x4^0的增大而增大。 (共7页)

关键词:西门子法多晶硅 “Si-Cl-H”体系热力学
学科分类:O642.4[数理科学和化学 > 化学 > 物理化学（理论化学）、化学物理学 > 化学热力学、热化学、热力学平衡 > 热力学平衡]　 O613.72[数理科学和化学 > 化学 > 无机化学 > 非金属元素及其化合物 > 第Ⅳ族非金属元素（碳和硅）及其化合物 > 硅Si]
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sararara0002 · 发表于 2008-10-7 15:54

强烈建议采用对多晶硅感兴趣的朋友看看，这是我看到国内关于西门子法的最好的文献啦，真的很经典。

yubufan · 发表于 2008-10-9 14:05

谢谢分享，就是贵了点

19860924 · 发表于 2008-12-13 21:54

谢谢提供，可惜下载不了

benzene · 发表于 2008-12-15 07:32

的确,成达公司接收设计的几套多晶硅多采用这个工艺.

gsfyb · 发表于 2008-12-15 15:44

你把阅读权限和购买价格定的太高了，是否不利于资料的交流，有违论坛的宗旨。

jaja11 · 发表于 2008-12-20 22:53

等有机会在看吧

CTIEI_SUI · 发表于 2008-12-21 20:37

楼主，资料不错，是否可以把限制去掉，花钱能学到东西也是可以的啊。

CTIEI_SUI · 发表于 2008-12-21 20:39

楼主，我花了影子，但那个阅读权限限制我下载，钱算是花错了。

2668266 · 发表于 2008-12-22 11:02

楼主，你定的权限有点高了，我真的很需要的，能给我发一份吗 hanfengdexiang@126.com

候鸟飞过 · 发表于 2008-12-22 16:56

我花了银子，可不让我下，银子白费了，请发一份
xu.young@163.com

hcxz2002 · 发表于 2009-8-22 20:55

呵呵，设置的权限高了点。看来俺要努力争取一把了。

pfengq · 发表于 2010-12-11 10:47

，权限太高了啊

吐血推荐：西门子法生产多晶硅的热力学

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