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单晶硅制备中坩埚图层的重要性

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pugong 发表于 2008-5-23 15:37 | 显示全部楼层 |阅读模式
单晶硅制备中广泛使用涂层石英坩埚,本文详细介绍石英坩埚涂层的工作机理及重要性。

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victor007 发表于 2009-3-6 02:44 | 显示全部楼层
谢谢楼主,我正找此方面的资料
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senlin 发表于 2010-5-19 14:18 | 显示全部楼层
学习 引用了,谢谢!
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senlin 发表于 2010-6-22 16:05 | 显示全部楼层
谢谢楼主了
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pfengq 发表于 2010-12-10 14:48 | 显示全部楼层
,谢谢分享!
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pfengq 发表于 2010-12-11 10:08 | 显示全部楼层
谢谢分享
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