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多晶硅生产技术中的尾气吸附如何更有效的避免水解物的产生?

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wxf200451 发表于 2009-3-23 12:06 | 显示全部楼层 |阅读模式
                      多晶硅生产技术中的
      尾气吸附如何更有效的避免水解物的产生?


       再多晶硅生产工艺当中的尾气吸附(尾气淋洗)的运行当中总会出现管道内壁产生水解物而堵塞管道,影响正常运行。
       现在请大家畅所欲言,谈谈新工艺或新进展以及生产经验
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