在三氯氢硅中如何监测硼含量

hanshan · 发表于 2009-2-8 17:03

请问在三氯氢硅中如何监测硼含量，采用什么样的设备和方法？具体投资在多少

xiaobenbena · 发表于 2009-2-8 22:40

这个除硼磷的过程主要应该是在精馏过程中，用氮气加湿器，主要是在精馏塔中水汽和三氯氢硅经过一系列的反应生成络合物，络合物沸点高，从而使之在精馏塔中得到有效的分离~~~
具体反应可能是：BCL3+H2O=HOBCL2+HCL
                        SIHCL3+H2O=HOSICL3+H2
                        HOBCL2+HOSICL=CL2B-OSICL3+H2O                      失水
                        SIHCL3+3H2O=SIO2-H2O+H2+3HCL
生成的二氧化硅是极为微细的粉末状固体颗粒，吸附硼磷化合物成络合物。

hugang05 · 发表于 2009-3-5 12:45

用湿氢还是湿氮？

luoleihongsha · 发表于 2009-4-11 19:45

湿氮。。不过这个方案不是很好实施。。到底湿到啥程度不好把握。。

wojiaweiwei · 发表于 2009-4-15 09:17

硼、磷含量对反应有什么影响？谁可以说说啊