大家来说说国内西门子法生产多晶硅主工艺工段存在的问题及解决方法（参与有奖）

sararara0002 · 发表于 2009-1-15 16:51

主要包含以下四个工段：

三氯氢硅合成工段
精馏工段
尾气回收工段
三氯氢硅氢还原工段

CTIEI_SUI · 发表于 2009-1-15 23:43

三氯氢硅合成部分，对反映的控制不是很好，据说有的厂家要不断调整内部换热管得热媒或水蒸气流量，控制转化率。

半杯龙舌兰 · 发表于 2010-8-3 09:53

硅棒生产过程中出现菜花状裂棒等现象

guoguozuozuo · 发表于 2011-10-20 13:50

楼主有详细的资料介绍吗？分享一下

fabregas · 发表于 2012-2-19 17:47

多晶硅产品中总是C含量超标

hugang05 · 发表于 2012-3-25 11:48

三氯氢硅合成部分，冷却器多长时间清洗一次？工艺问题还是设备制造问题