多晶硅质量指标

多晶硅质量指标

项   目		一级品	二级品	三级品
受主元素（B、Al） （ppba）		≤0.05	≤0.10	≤0.50
施主元素（P、As、Sb）（ppba）		≤0.15	≤0.30	≤0.50
碳（ppma）		≤0.10	≤0.10	≤0.50
表面金属（ppbw）	Fe	≤0.50	≤1.00	≤10
	Cr	≤0.10	≤0.50
	Ni	≤0.10	≤0.50
	Cu	≤0.10	≤0.50
	Zn	≤0.30	≤1.00	≤20
	Na	≤0.80	≤1.00	≤20
体金属（ppba）	Fe、Cr、Ni、Cu、Zn	总的体金属 ≤1.50	总的体金属 ≤2.0

能说的再细点吗？我是初学者

谢谢了，看看学校

学习啦，感谢啦