西门子法生产多晶硅的热力学评论推荐
苗军舰[1] 陈少纯[2] 丘克强[1]
[1]中南大学化学化工学院,长沙410083 [2]广州有色金属研究院,广州510651
摘 要:应用有关热力学数据研究了与西门子法相关的“Si-Cl-H”三元系的复杂化学反应,分别绘制了在体系中存在的15个化学反应的△rG m-T图和Kp -T图;还给出在不同压强和不同SiHCl3/H2初始比例时的平衡气相成分、η-产率随温度的变化图以及在不同的压强下α因数随SiHCl3初始物质的量的分数的变化图。热力学研究结果表明,高温、低压和小的SiHCl3/H2初始物质的量的比对SiHCl3还原有利;α因数随着SiHCl3初始物质的量的比x4^0的增大而增大。 (共7页)
关 键 词:西门子法 多晶硅 “Si-Cl-H”体系 热力学
学科分类:O642.4[数理科学和化学 > 化学 > 物理化学(理论化学)、化学物理学 > 化学热力学、热化学、热力学平衡 > 热力学平衡] O613.72[数理科学和化学 > 化学 > 无机化学 > 非金属元素及其化合物 > 第Ⅳ族非金属元素(碳和硅)及其化合物 > 硅Si]
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