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多晶硅生产工艺种类介绍

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hhxxy 发表于 2008-10-7 14:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
    多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅多晶硅可作拉制单晶硅的原料,多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。例如,在力学性质、光学性质和热学性质的各向异性方面,远不如单晶硅明显;在电学性质方面,多晶硅晶体的导电性也远不如单晶硅显著,甚至于几乎没有导电性。在化学活性方面,两者的差异极小。多晶硅和单晶硅可从外观上加以区别,但真正的鉴别须通过分析测定晶体的晶面方向、导电类型和电阻率等。
目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有:改良西门子法、硅烷法和流化床法。新一代低成本多晶硅工艺技术研究空前活跃。除了传统工艺(电子级和太阳能级兼容)及技术升级外,还涌现出了几种专门生产太阳能级多晶硅的新工艺技术,主要有:改良西门子法的低价格工艺;冶金法从金属硅中提取高纯度硅;高纯度SiO2直接制取;熔融析出法(VLD:Vaper to liquid deposition);还原或热分解工艺;无氯工艺技术,Al-Si溶体低温制备太阳能级硅;熔盐电解法等。
多晶硅生产工艺:
1 杜邦法(四氯化硅+锌)
2 贝尔法(四氯化硅+氢气)
3 西门子法(三氯氢硅+氢气)
4 U.C.C法 硅烷法(硅烷分解)
5 其他
西门子法:氯化SI+HCL---SIHCL3+SICL4
                   还原SIHCL3+H2---SI+HCL
                  氢化SICL4+H2---SIHCL3+HCL
azhu1983 发表于 2008-10-7 16:08 | 显示全部楼层
听说现在都是比较赚钱的行业啊,有点兴趣
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