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多晶硅工艺流程

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pj3000 发表于 2008-10-3 12:38 | 显示全部楼层 |阅读模式

1、改良西门子法是目前主流的生产方法
    多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来,由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同,因此生产工艺技术不同;进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异,各有技术特点和技术秘密,总的来说,目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有:改良西门子法、硅烷法和流化床法。改良西门子法是目前主流的生产方法,采用此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的85%。但这种提炼技术的核心工艺仅仅掌握在美、德、日等7家主要硅料厂商手中。这些公司的产品占全球多晶硅总产量的90%,它们形成的企业联盟实行技术封锁,严禁技术转让。短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变。
在未来15-20年内,采用改良西门子法工艺投产多晶硅的资金将超过1,000亿美元,太阳能级多晶硅的生产将仍然以改良西门子法为主,改良西门子法依然是目前生产多晶硅最为成熟、最可靠、投产速度最快的工艺,与其他类型的生产工艺处于长期的竞争状态,很难相互取代。尤其对于中国的企业,由于技术来源的局限性,选择改良西门子法仍然是最现实的作法。在目前高利润的状况下,发展多晶硅工艺有一个良好的机遇,如何改善工艺、降低单位能耗是我国多晶硅企业未来所面临的挑战。
2、西门子改良法生产工艺如下:
    这种方法的优点是节能降耗显著、成本低、质量好、采用综合利用技术,对环境不产生污染,具有明显的竞争优势。改良西门子工艺法生产多晶硅所用设备主要有:氯化氢合成炉,三氯氢硅沸腾床加压合成炉,三氯氢硅水解凝胶处理系统,三氯氢硅粗馏、精馏塔提纯系统,硅芯炉,节电还原炉,磷检炉,硅棒切断机,腐蚀、清洗、干燥、包装系统装置,还原尾气干法回收装置;其他包括分析、检测仪器,控制仪表,热能转换站,压缩空气站,循环水站,变配电站,净化厂房等。
  (1)石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅,
其化学反应SiO2+C→Si+CO2↑
  (2)为了满足高纯度的需要,必须进一步提纯。把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中,生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl3)。
其化学反应Si+HCl→SiHCl3+H2↑
反应温度为300度,该反应是放热的。同时形成气态混合物(Н2, НС1,  SiНС13, SiC14, Si)。
  (3)第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯,需要分解: 过滤硅粉,冷凝SiНС13,SiC14,而气态Н2,НС1返回到反应中或排放到大气中。然后分解冷凝物SiНС13, SiC14,净化三氯氢硅(多级精馏)。
  (4)净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺,以高纯的SiHCl3在H2气氛中还原沉积而生成多晶硅。
其化学反应SiHCl3+H2→Si+HCl。
多晶硅的反应容器为密封的,用电加热硅池硅棒(直径5-10毫米,长度1.5-2米,数量80根),在1050-1100度在棒上生长多晶硅,直径可达到150-200毫米。这样大约三分之一的三氯氢硅发生反应,并生成多晶硅。剩余部分同Н2,НС1,SiНС13,SiC14从反应容器中分离。这些混合物进行低温分离,或再利用,或返回到整个反应中。气态混合物的分离是复杂的、耗能量大的,从某种程度上决定了多晶硅的成本和该 3工艺的竞争力。
在西门子改良法生产工艺中,一些关键技术我国还没有掌握,在提炼过程中70%以上的多晶硅都通过氯气排放了,不仅提炼成本高,而且环境污染非常严重。
在“十一五”期间,为实现采用改良西门子工艺的多晶硅的产业化,建议开展下述课题研究:基于SiHCl3氢还原法的低电耗多晶硅生成反应器技术;干法回收中H2、HCl、SiHCl3、SiCl4混合气体大能力无油润滑加压装置;SiCl4氢化反应器进料系统控制技术装置;大型多侧线SiHCl3高效提纯技术装置;千吨级多晶硅生产系统自动控制组态技术。


希望对大家有帮助!

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jaja11 发表于 2008-12-21 08:04 | 显示全部楼层
这都是老技术了
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建筑px 发表于 2008-12-22 11:56 | 显示全部楼层
详细请登录建筑培训(www.jzpx.net
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候鸟飞过 发表于 2008-12-22 16:49 | 显示全部楼层
据说全国每套多晶硅生产工艺都不完全相同,是不是“净化三氯氢硅(多级精馏)”级数不同?还有什么不同?
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gysml 发表于 2011-1-28 16:10 | 显示全部楼层
谢谢楼主了
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lixiang753 发表于 2011-5-11 13:19 | 显示全部楼层
多晶硅基础普及知识,
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xzyamway 发表于 2011-5-13 10:12 | 显示全部楼层
多晶硅生产工艺的基础普及知识。
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westchem 发表于 2011-5-13 22:26 | 显示全部楼层
硅棒或硅锭用什么锯成片的呢?谢谢!
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lisongchun 发表于 2011-7-8 14:50 | 显示全部楼层
线锯用得好
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魔域罗兰 发表于 2011-7-10 21:13 | 显示全部楼层
很好,谢谢了
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fuwasi 发表于 2011-7-25 16:52 | 显示全部楼层
学习学习。
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guoguozuozuo 发表于 2011-10-20 13:25 | 显示全部楼层
很基础的资料,学习了
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guoguozuozuo 发表于 2011-10-20 13:30 | 显示全部楼层
学习学习,好资料大家一起分享
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fabregas 发表于 2011-11-5 17:28 | 显示全部楼层
想知道侧线踩出的计算依据是什么,如果塔内温度控制不好是不是会影响到侧线踩出物料的组分呢?
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hugang05 发表于 2011-11-7 00:24 | 显示全部楼层
细化工艺,精准用词,继续更新!
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