电子级多晶硅的生产工艺

hhxxy · 发表于 2008-9-27 11:12

[摘要] 就建设1 000 t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氯氢硅法、四氯化硅法、二氯二氢硅法和硅
烷法生产的多晶硅质茸、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电
耗和价格进行了对比；对还原或热分解使用的反应器即钟罩式反应器、流床反应器和自由宅间反应器也进行了
比较。介绍了用氯氢硅钟罩式反应器法生产多晶硅三代流程。第三代多晶硅流程适于1 000 t／a级的电子级多
晶硅生产。
[关键词] 多晶硅；三氯氢硅法；硅法；流程；生产
梁骏吾
(中国科学院半导体研究所，北京 100083)

[ 本帖最后由 hhxxy 于 2008-9-27 11:14 编辑 ]

wxcnl66 · 发表于 2008-9-28 13:56

好东西，顶！

yubufan · 发表于 2008-9-28 15:02

的确不错，介绍了多晶硅的发展历史和基本的工艺路线

20072312 · 发表于 2008-9-30 22:16

好那个东东，资料不错啊，谢谢楼主了！

benzene · 发表于 2008-10-3 21:36

好资料，多晶硅在国内仅仅是俄罗斯的一套工艺设计是成熟的。

hugang05 · 发表于 2008-10-5 22:18

谢了版主，我先下载看看！

saintcaptain · 发表于 2008-12-4 17:10

非常好！

buddy1985buddy · 发表于 2008-12-5 10:31

谢谢啊

wanghua8207 · 发表于 2008-12-9 00:22

确实是不错的好东西，里面有个1、2、3代的大致流程图，很有帮助。

hebeiguanfu · 发表于 2008-12-10 15:55

谢了版主，梁骏吾的作品，我先下载看看！

qiujingyuan · 发表于 2008-12-10 18:33

谢了！我看看。

淼枫120 · 发表于 2008-12-14 09:43

多谢啦，很长知识呢

wjifeng · 发表于 2009-2-2 15:20

学习学习学习学习想学习

wxf200451 · 发表于 2009-2-12 19:47

分析的够全面

hugang05 · 发表于 2009-3-5 12:14

非常好，是专家编写的，下载了学习再说。

电子级多晶硅的生产工艺

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