国外在前几年开始就取消了传统的四氯化硅电加热器采用循环式电加热器的方式,原因是此种电加热器容易结垢和腐蚀严重。去年我们在国外考察其间,国外早就采用辐射电加热器的方式加热STC(四氯化硅),和TSH(三氯氢硅),但给中国国内的工艺包中仍选用他们的早期技术循环式加热器方式,新的技术仍对国内进行封锁. 此过程辐射电加热器被加热易于结垢或腐蚀性的气体介质例如四氯化硅或三氯化硅/氢气。这种形式的加热器靠辐射方式加热螺旋盘管,介质在盘管内流动,加热温度可以达到很高,只要盘管的机械强度能够承受。对于600到650度的介质温度可以轻易达到。可以选择分区加热方式和精密温控方式。此加热器可以通过腔内充氮保护,可以使用在爆炸性危险场合。
为了让大家对此产品有个感性认识,附图是一个新的四氯化硅加热器的图片.
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