化学品中文名称：三氯氢硅
化学品俗名或商品名:三氯硅烷
化学品英文名称：Trichlorosilane；Silicochloroform
分子式：SiHCl3
分子量：135.44
主要成分：三氯硅烷含量≥98％；
CAS No.：10025-78-2
危险性类别：第4.3类 遇湿易燃品
侵入途径：吸入、食入、经皮肤吸收；
健康危害：对眼睛及上呼吸道有强烈刺激作用。高浓度可引起角膜混浊，呼吸道炎症，甚至肺水肿。眼直接接触可致角膜及眼睑严重灼伤。皮肤接触后可引起组织坏死,长期不愈；
环境危害：对环境有危害；
燃爆危险：本品易燃，易爆,属一级遇湿易燃品。
皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟。就医。
眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。
食入：用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。
危险特性：与氧化剂发生强烈的反应.遇水或水蒸气反应产生热和有毒的腐蚀性烟雾. 遇明火,高热时发生燃烧或爆炸；
有害燃烧产物：氯化氢、氧化硅
灭火方法：蒸汽比空气重,易在低处聚集.封闭区域内的蒸汽遇火能爆炸.蒸汽若扩散到远处,遇点火源着火,并引起回燃.若物质不泄露,在安全防护距离以外,使用雾状水冷却暴露的容器.消防人员必须穿全身防火防毒服,佩戴过滤式防毒面具或隔离式呼吸器。
灭火剂：干燥砂土,干粉,二氧化碳。
灭火注意事项及措施：禁止用水、泡沫灭火器。
应急处理：迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。切断火源,建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒工作服。从上风处进入现场。尽可能切断泄漏源。防止流入下水道、排洪沟等限制性空间。小量泄漏：将地面洒上沙土或不燃性材料吸收.用不燃性分散剂制成乳液刷洗,洗液稀释后放入废水系统。大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容,用泡沫覆盖,降低蒸汽灾害.用防爆泵转移至槽车或专用收集器,回收或运至废物处理场所。
操作注意事项：密闭操作,加强通风,操作人员必须经过专门的培训,严格遵守操作规程.建议操作人员戴化学安全防护眼镜,穿防毒物渗透工作服,戴耐酸碱手套.使用防爆型的通风系统和设备.灌装时应有静电接地,防止静电积累.搬运时要轻装轻卸。
储存注意事项：储存于阴凉,干燥通风的仓库内.库温不超过25℃，相对湿度不超过75％。包装必须密封，切勿受潮。应与氧化剂,酸类,碱类分开存放，切忌混储。禁止使用产生火花的机械设备和工具.定期检查是否有泄露现象.储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。
第八部分：接触控制/个体防护
中国MAC:未制定标准；
前苏联MAC:未制定标准
检测方法:气相色谱法
工程控制：密闭操作，注意通风。尽可能机械化、自动化。提供安全淋浴和洗眼设备；
呼吸系统防护：空气浓度超标时，必须佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）或隔离式呼吸器。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴空气呼吸器。
眼睛防护：呼吸系统防护中已作防护
身体防护：穿胶布防毒衣。
手防护：戴橡胶手套。
其他防护：工作现场禁止吸烟、进食和饮水。工作完毕，淋浴。单独存放被毒物污染的衣服，洗后备用。保持良好的卫生习惯。
外观与性状：无色液体，极易挥发,有令人窒息的气味.
熔点(℃)：-134℃
沸点(℃)：31.8℃
相对密度(水=1)：1.37
相对蒸气密度(空气=1)：4.7
饱和蒸气压(kPa)：55.33(14.5℃)
燃烧热(kJ/mol)：无资料
临界温度(℃)：无资料
临界压力(MPa)：无资料
闪点(℃)：-13.9
引燃温度(℃)：无资料
爆炸上限%(V/V)：70
爆炸下限%(V/V)：6.9
溶解性：可混溶于苯、醚等多数有机溶剂。
主要用途：用于制造偶联剂,硅酮化合物；
稳定性：稳定
避免接触的条件：潮湿空气
禁配物：强氧化剂、醇类、水、强碱。
聚合危害：不聚合
急性毒性：LD50：1030 mg/kg(小鼠经口)，LC50：15000 mg/kg(大鼠经口)
亚急性和慢性毒性：
刺激性：
致敏性：
致突变性：
致畸性：
致癌性：
生态毒理毒性：
生物降解性：
非生物降解性：
生物富集或生物积累性：
其它有害作用：
废弃处置方法：根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。
危险货物编号：43049
UN编号：1818
包装标志：遇湿易燃品
包装类别：第Ⅱ类
包装方法：小开口的钢铁桶,塑料瓶或金属桶（罐）外普通木箱。
运输注意事项：铁路运输时严格按照铁路部危险货物运输规则中的危险货物配装表进行配装.起运时包装要完整,装载要稳妥.运输过程中要确保容器不泄露,不倒塌,不损坏.严禁与氧化剂,碱类,酸类食用化学品等湿装混运.运输时应配备泄露应急处理设备.运输途中要防晒,雨淋,防高温.公路运输时要按规定路线行驶,勿在居民区和人口稠密区停留.
国内化学品安全管理法规：危险化学品安全管理条例 (2002年1月26日国务院发布)，化学危险物品安全管理条例实施细则 (化劳发[1992] 677号)，工作场所安全使用化学品规定 ([1996]劳部发423号)等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92)将该物质划为第4.3 类遇湿易燃品。
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参考文献：
三氯氢硅合成：将硅粉卸至转动圆盘，通过管道用气体输送至硅粉仓，再加入硅粉干燥器，经过圆盘给料机并计量后加入三氯氢硅合成炉。在三氯氢硅合成炉内，温度控制在80—310℃，硅粉和氯化氢发生反应，生成三氯氢硅和四氯化硅。生成的三氯氢硅和四氯化硅气体经沉降器、旋风分离器和袋式过滤器除去粉尘及高氯硅烷，经水冷后经隔膜压缩机加压，再用-35℃冷媒冷凝为液体。不凝性气体通过液封罐进入尾气淋洗塔，经酸碱淋洗达标后排放。
三氯氢硅分离：三氯氢硅和四氯化硅混合料（三氯氢硅含量为80—85%）进入加压塔，采用两塔连续提纯分离，通过控制一定的回流比，最终得到三氯氢硅含量为99%以上的产品和四氯化硅含量为95%以上的副产物。
含尘废气主要是输送硅粉的氮气，先经布袋除尘回收硅粉，然后经水洗涤，洗涤废水经沉淀后循环使用，尾气洗涤后排入大气。布袋除尘器除尘率为99％，洗涤除尘率按50％计，总除尘效率达到99.5％，经处理后达标排放。不凝气体主要含有保护气体，其余还含有少量的氯硅烷、氯化氢等。
经过低温冷凝后剩余的不凝气送废气处理装置，氯硅烷系列遇水迅速分解成硅酸和氯化氢，氯化氢气体先被稀盐酸循环吸收为浓盐酸回收使用，微量部分被碱液吸收、反应。废气主要成份有氮气，废气经淋洗处理后，通过车间排气筒达标排放。在满足要求的前提下尽量选用转速低、噪声小的设备；同时对鼓风机设独立的隔声间，与所在的楼层分开，以减轻振动而产生的噪声；对空压机、鼓风机、泵等进气管装消音器，并设隔声操作室，减少室内噪声污染，改善工人作业环境。
烟筒设置足够的高度，使烟气的排放符合国家《大气污染物综合排放标准》二级标准的要求。
硅氢氯化法
该方法是用冶金级硅粉，作原料，与氯化氢气体反应。可使用铜或铁基催化剂。反应在200---800和0.05---3mpa下进行
2Si+HCl======HSiCl3+SiCl4+3H2
上述反应是放热反应，反应热为-141.8千焦/摩尔 升高温度有利于提高反应速率，但同时导致三氯氢硅选择性下降，通过优化反映温度，可明显提高三氯氢硅的选择率。例如在300---425度和2到5千帕条件下使硅和氯化氢反应，产物以600---1000千克/小时输出，三氯氢硅的选择率竟高达80—88%，副产物包括质量分数1%--2%二氯硅烷和1—4%的缩聚物，其余为四氯化硅。
氯化氢气体中的水分三氯氢硅的收率优很大影响。因此必须严格干燥。硅与氯化氢生成三氯氢硅的反应应该是零级反应，使用纯度大于99.99%的硅原料时氢硅的收率较低。在一个 微型反应器中作了研究，结果表明冶金级原料中所含杂质铝对反应有催化作用，可使反应温度降低，三氯氢硅收率提高。
四氯化硅氢化法
3SiCl4+2H2+Si===============4HSiCl3
该反应为平衡反应，为提高三氯氢硅的收率，优选在氯化氢存在下进行，原料采用冶金级产品通过预活化除去表面的氧化物后，可进一步提高三氯氢硅的收率
三氯氢硅与四氯化硅沸点差距25度，且不产生共沸物，所以比较容易分离。
一种四氯化硅氢化生产三氯氢硅的方法，其主要流程如下：
ａ）将镍触媒与硅粉以质量比１－１０％的比例均匀混合后置于活化器中，活化条件为Ｈ2↓流速≥０．０５－０．３ｍ／ｓ，经不同时间阶段由２５℃至终温４２０℃的升温条件下完成活化过程；
ｂ）四氯化硅（ＳｉＣｌ4↓）液相温度在贮罐中保持６０－１１９℃，气相总压为１．５ＭＰａ，出口的Ｈ2↓与ＳｉＣｌ4↓混合气的摩尔比为１－１０；
ｃ）氢化反应器内，Ｈ2↓与ＳｉＣｌ4↓的混合气通过触媒与硅粉混合料层，保持温度４００－５００℃、压力１．２－１．５Ｍｐａ；
ｄ）氢化反应器的出口混合气体经收尘器进行除尘、过滤后，在冷凝器中氯硅烷呈液态被分离出来，不凝的Ｈ2↓气返回贮罐中循环利用；
ｅ）液态氯硅烷经分馏塔分馏后，重组份ＳｉＣｌ4↓返回贮罐重复利用。 |
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