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还原炉空气动力学的特征是?

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pan_zh 发表于 2009-2-22 16:51 | 显示全部楼层 |阅读模式
如题:还原炉内空气动力学特征是什么?什么特征有利于硅的沉积?

[ 本帖最后由 pan_zh 于 2009-2-22 16:52 编辑 ]

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lcqin 发表于 2009-2-23 12:41 | 显示全部楼层
值得研究 只不过生产厂家都忙着赚钱 才不管
可用数值计算工具
呵呵
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淼枫120 发表于 2009-2-23 20:50 | 显示全部楼层
是呀,很想知道这方面的知识啊,希望有行家指点一下
不胜感激啊
呵呵
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hugang05 发表于 2009-3-4 15:43 | 显示全部楼层
正是倒棒的原因,好好的分析一下
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hugang05 发表于 2012-5-19 11:44 | 显示全部楼层
应该建模,认真研究分析
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oceans998 发表于 2013-3-8 16:52 | 显示全部楼层
硅的沉积速度在流体方面取决与硅棒表面混合气的单位时间内的置换次数
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